[实用新型]一种干式蚀刻机

权利要求书

1.一种干式蚀刻机，包括托盘（10），其特征在于：所述托盘（10）上方通过支架固定安装有水槽箱（1），所述水槽箱（1）用于承接蚀刻机放置的蚀刻液，所述水槽箱（1）内上方设置有托链（7），托链（7）通过电机进行驱动，托链（7）中部固定连接有结构支架，结构支架下端设置有喷淋块（6），所述水槽箱（1）中部通过支架固定安装有镂空工作槽（3），

所述托盘（10）左侧设置有净化框（4），所述水槽箱（1）内部设置有水泵（2），所述水泵（2）左侧设置有进水管（9），所述净化框（4）中部还设置有排水管（8）。

2.根据权利要求1所述的一种干式蚀刻机，其特征在于：所述净化框（4）内部设置有净化舱（11），所述净化舱（11）内部设置有过滤板（13），所述过滤板（13）上端与进水管（9）连通。

3.根据权利要求2所述的一种干式蚀刻机，其特征在于：所述过滤板（13）为若干组PP棉过滤板。

4.根据权利要求3所述的一种干式蚀刻机，其特征在于：所述净化舱（11）内部设置有出水口（14），所述排水管（8）与净化框（4）进行导通。

5.根据权利要求4所述的一种干式蚀刻机，其特征在于：所述净化舱（11）上方设置有拖杆（12）。

6.根据权利要求1所述的一种干式蚀刻机，其特征在于：所述镂空工作槽（3）中部设置有铜条（5）。