[实用新型]一种新型真空蚀刻机有效
申请号: | 202120899887.8 | 申请日: | 2021-04-28 |
公开(公告)号: | CN214736196U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 王建刚 | 申请(专利权)人: | 常州威登电子设备有限公司 |
主分类号: | C25F7/00 | 分类号: | C25F7/00;C25F1/04;H05K7/20 |
代理公司: | 常州万为知识产权代理事务所(普通合伙) 32441 | 代理人: | 王杰 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型真空蚀刻机,包括:蚀刻机主体,所述蚀刻机主体的内部设置有控制柜,所述控制柜的内部设置有搅拌机构;以及散热机构,所述散热机构安装在控制柜的内部。本实用新型所述的一种新型真空蚀刻机,通过设置的散热机构,散热机构能够对对控制柜进行快速散热,且通过设置的冷凝器和导水管,包裹在控制器主体的外表面,将控制器主体工作产生的热量吸收,降低了控制器主体的本身温度,从而能够对控制器主体快速散热,使得设备能够长时间进行工作,提高了装置的散热性能,从而能够提高设备的加工效率,方便人们使用,整个装置结构简单,操作方便,增加了整个真空蚀刻机的实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 真空 蚀刻 | ||
【主权项】:
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