[实用新型]一种新型真空蚀刻机

权利要求书

1.一种新型真空蚀刻机，其特征在于，包括：

蚀刻机主体（1），所述蚀刻机主体（1）的内部设置有控制柜（6），所述控制柜（6）的内部设置有搅拌机构；以及

散热机构，所述散热机构安装在控制柜（6）的内部，所述散热机构包括储水箱（7）、若干组导水管（8）和若干组冷凝器（9），所述控制柜（6）的内部设置有控制器主体（10），若干组所述导水管（8）均和控制器主体（10）的外表面连接，所述导水管（8）的两端均安装在储水箱（7）上，所述冷凝器（9）安装在导水管（8）上，且冷凝器（9）设置在导水管（8）靠近储水箱（7）的一端。

2.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻机主体（1）上设置有工作槽（2），所述蚀刻机主体（1）的顶端设置有移动导轨（3）和托链（4），所述蚀刻机主体（1）的后端设置有水槽箱（5），所述水槽箱（5）上设置有一号水泵，所述水槽箱（5）通过水管和蚀刻机主体（1）连接。

3.根据权利要求1所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述搅拌机构安装在储水箱（7）上，所述搅拌机构包括电机盒（11）、转动杆（12）和若干组搅拌桨（13），所述电机盒（11）安装在储水箱（7）的一侧外表面，所述转动杆（12）安装在储水箱（7）的内顶面，若干组所述搅拌桨（13）均安装在转动杆（12）的外表面上，所述储水箱（7）的顶端外表面开设有若干组通风口。

4.根据权利要求3所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述储水箱（7）的顶端外表面设置有从动轮（14），所述转动杆（12）的顶端贯穿储水箱（7）的顶端外表面，且和从动轮（14）的转动轴连接，所述电机盒（11）的内部设置有电机，所述电机盒（11）的顶端设置有主动轮，所述电机的输出轴贯穿电机盒（11）的顶端，并和主动轮的转动轴连接。

5.根据权利要求4所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述储水箱（7）的内部设置有二号水泵（15），所述导水管（8）的一端和二号水泵（15）连接，所述导水管（8）的另一端设置在储水箱（7）的内部，所述导水管（8）的另一端设置有吸水管。

6.根据权利要求4所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述主动轮上设置有连接件，所述主动轮通过连接件和从动轮（14）连接。

7.根据权利要求2所述的一种新型真空蚀刻机，其特征在于：所述蚀刻机主体（1）的底端和水槽箱（5）的底端均设置有支撑底脚，所述蚀刻机主体（1）上设置有蚀刻装置。