[实用新型]二流体喷雾装置有效
| 申请号： | 202120695623.0 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN215030193U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 京隆科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B05B7/04 | 分类号： | B05B7/04;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种二流体喷雾装置，包括第一增压件、与第一增压件配合安装的第二增压件，第一增压件包括第一本体、开设于第一本体内的增压室以及开设于第一本体上且与增压室连通的第一喷射口，增压室与第一喷射口连接的侧壁围设成沿靠近第一喷射口的方向开口逐渐减小的锥形，第二增压件包括第二本体、开设于第二本体内的混合室以及开设于第二本体上且与混合室连通的第二喷射口，混合室与第二喷射口连接的内侧壁围设成沿靠近第二喷射口的方向开口逐渐减小的锥形。本实用新型中的二流体喷雾装置喷出的水气融合效果好，且水柱角度大范围广，能够去除残留在晶圆表面的超微小颗粒表面的异物，清洗效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 喷雾 装置 | ||
【主权项】：
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