[实用新型]二流体喷雾装置

说明书

本实用新型揭示了一种二流体喷雾装置，包括第一增压件、与第一增压件配合安装的第二增压件，第一增压件包括第一本体、开设于第一本体内的增压室以及开设于第一本体上且与增压室连通的第一喷射口，增压室与第一喷射口连接的侧壁围设成沿靠近第一喷射口的方向开口逐渐减小的锥形，第二增压件包括第二本体、开设于第二本体内的混合室以及开设于第二本体上且与混合室连通的第二喷射口，混合室与第二喷射口连接的内侧壁围设成沿靠近第二喷射口的方向开口逐渐减小的锥形。本实用新型中的二流体喷雾装置喷出的水气融合效果好，且水柱角度大范围广，能够去除残留在晶圆表面的超微小颗粒表面的异物，清洗效果好。

技术领域

本实用新型属于机械领域，具体涉及一种二流体喷雾装置。

背景技术

晶圆切割后会产生的粉末及其异物，为了后续的加工，所以需要及时清洗，一般均采用水洗，现有的水洗装置由于没有增压设计，导致水气融合效果差，水洗时水柱聚焦点压力较差，二流体水气融合不够且喷出水柱较粗，无法将粉末和异物清洗干净，清洗效果差。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种二流体喷雾装置。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种二流体喷雾装置，以实现提高喷雾压力，从而提高粉末和异物的清洗效果。

为了实现上述目的，本实用新型一实施例提供的技术方案如下：

一种二流体喷雾装置，包括第一增压件、与所述第一增压件配合安装的第二增压件，所述第一增压件包括第一本体、开设于所述第一本体内的增压室以及开设于所述第一本体上且与所述增压室连通的第一喷射口，所述第一本体用于供气体和液体流过，所述增压室与所述第一喷射口连接的侧壁围设成沿靠近所述第一喷射口的方向开口逐渐减小的锥形，所述增压室用于将流经所述第一本体的气体增压后从所述第一喷射口喷出，所述第二增压件包括第二本体、开设于所述第二本体内的混合室以及开设于所述第二本体上且与所述混合室连通的第二喷射口，所述混合室与所述第二喷射口连接的内侧壁围设成沿靠近所述第二喷射口的方向开口逐渐减小的锥形，所述混合室用于将从所述增压室流出的气体和液体混合增压后从所述第二喷射口喷出。

一实施例中，所述第一增压件还包括开设于所述第一本体内的第一流体通道和至少两路相互连通的第二流体通道，所述第一流体通道与所述增压室连通，所述第二流体通道与所述混合室连通，所述第一流体通道用于流通气体，所述第二流体通道用于流通液体。

一实施例中，所述二流体喷雾装置还包括与所述第一增压件配合安装的连接件以及安装于所述第一增压件和所述连接件之间的垫圈，所述连接件用于供气体和液体流过并经所述垫圈流入所述第一增压件内，所述垫圈用于与所述连接件和所述第一增压件配合对流经的液体进行增压。

一实施例中，所述连接件包括第三本体以及开设于所述第三本体内的至少两路相互连通的第四流体通道，所述第四流体通道用于供液体流过，所述垫圈上开设有多个通孔，所述第一本体靠近所述垫圈的端部上开设有与所述第二流体通道和所述通孔连通的第一环形槽，所述第三本体靠近所述垫圈的端部上开设有与所述通孔和所述第四流体通道连通的第二环形槽，所述通孔的孔径小于所述第一环形槽的宽度以及所述第二环形槽的宽度。

一实施例中，所述第三本体内开设有与所述第一流体通道相连通的第三流体通道。

一实施例中，所述第三本体远离所述第二环形槽的另一端部上开设有连通所述第四流体通道的第三环形槽。

一实施例中，所述第二本体远离所述第二喷射口的端部内侧壁上开设有第一螺纹，所述第一本体的外侧壁上开设有与所述第一螺纹相配合的第二螺纹。

一实施例中，所述第一本体远离所述增压室的端部上安装有与所述第一流体通道连通的第一外螺纹管，所述第三流体通道的内侧壁上开设有用于与所述第一外螺纹管配合安装的第三螺纹。