[实用新型]一种等离子处理单槽台车定位装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子处理单槽台车定位装置，包括设置在台车上方机架的单槽台车，单槽台车的底部设有滑轮，对应的台车上端设有滑轨，单槽台车的顶部设置若干定位孔，上方设有拉板，拉板下端面设置若干与定位孔对应的定位销，定位销插入定位孔固定单槽台车，拉板的一侧设有控制拉板上下活动的拉板抬升装置，拉板抬升装置通过气缸控制勾杆勾住拉板后通过滑轨一起向上运动，松开定位销，单槽台车在外力的作用下进入等离子真空腔体，后气缸关闭，在弹簧的作用的，勾杆和拉板在复位弹簧的作用下回复原位，而此时基板在真空腔体内确保不会碰触到电极板，避免在操作过程中造成电极板损坏，降低由于人工操作过程中对电极板造成的损失。