[实用新型]一种等离子处理基板的台车输送装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子处理基板的台车输送装置，包括等离子处理腔体，等离子处理腔体的前方设置含有台车的台车输送区域，台车由车架和单槽台车组成，台车输送区域的上方设置有定位销抬升机构，单槽台车上方设有定位销，车架的上端面为转接板，转接板上设有滑轨，滑轨上方设置有过渡板，单槽台车底部沿相对过渡板向等离子处理腔体滑动，当装有基板的台车送至等离子真空处理腔体门口时，等离子处理腔体打开腔门，自动将台车上单槽台车内的基板送入等离子处理腔体加工处理，这种运送装置实现全程输送基板自动化，节省人工和提高效率，过渡板使得在基板推入等离子处理腔体时，避免因台车和等离子处理腔体之间的间隙导致基板掉落造成的损失。