[实用新型]一种等离子处理单槽台车的过渡板固定装置

摘要

本实用新型公开了一种等离子处理单槽台车的过渡板固定装置，包括过渡板和转接板，过渡板上面设置滑轨，单槽台车通过滑轨滑动设置在过渡板上，转接板上方设置滑轨，过渡板通过滑轨滑动设置在转接板上，转接板的一端设有立柱，立柱的上端转动设置转轴，转轴的一端为定位销，定位销插入过渡板一端的定位孔，转轴的另一端下方设置弹簧，通过弹簧与转接板弹性连接，过渡板固定装置能够在过渡板处于不使用状态时，固定过渡板的位置，从而保证设置在过渡板上方的单槽台车不会产生位置偏移，确保在单槽台车在输送至等离子处理腔体前，待处理的基板能够准确进入等离子处理腔体，避免因为位置偏移导致撞伤等离子处理腔体内的电极板，造成损失。