[实用新型]一种等离子处理单槽台车的过渡板固定装置

说明书

本实用新型公开了一种等离子处理单槽台车的过渡板固定装置，包括过渡板和转接板，过渡板上面设置滑轨，单槽台车通过滑轨滑动设置在过渡板上，转接板上方设置滑轨，过渡板通过滑轨滑动设置在转接板上，转接板的一端设有立柱，立柱的上端转动设置转轴，转轴的一端为定位销，定位销插入过渡板一端的定位孔，转轴的另一端下方设置弹簧，通过弹簧与转接板弹性连接，过渡板固定装置能够在过渡板处于不使用状态时，固定过渡板的位置，从而保证设置在过渡板上方的单槽台车不会产生位置偏移，确保在单槽台车在输送至等离子处理腔体前，待处理的基板能够准确进入等离子处理腔体，避免因为位置偏移导致撞伤等离子处理腔体内的电极板，造成损失。

技术领域

本实用新型涉及等离子基板处理技术领域，特别涉及一种等离子处理单槽台车的过渡板固定装置。

背景技术

使用等离子体对基板进行表面和孔内进行处理是一种广泛的基板生产工艺，目前的等离子体处理设备多为单个腔体同时进行多片基板处理的架构，往往需要人力将需要处理的基板固定在台车上，然后将台车运至台车运送区域，然后调控升降机使得转接板与等离子体处理设备水平，再经人工固定转接板，最后将台车上单槽台车内的基板进入等离子真空处理腔体内加工处理，这种人工固定位移的方式，不利于自动化的实现，针对上述不足，通常会设计一系列自动化上下料系统来解决上述问题，自动化上下料的系统中装有等离子处理基板的单槽台车的底部会设置过渡板，用于将装有待处理基板的单槽台车过渡至等离子处理腔体，确保基板转移至等离子处理腔体的过程中，台车不会在输送过程中掉落，而过渡板较多采用的是滑轨移动，在台车输送过程中，需要固定过渡板，只有在输送至等离子处理腔体前才会移动过渡板的位置。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种等离子处理单槽台车的过渡板固定装置，能够固定和解锁过渡板，确保过渡板在前置输送过程中不会偏离初始位置。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子处理单槽台车的过渡板固定装置，包括过渡板和转接板，所述过渡板上面设置滑轨，单槽台车通过滑轨滑动设置在过渡板上，转接板上方设置滑轨，过渡板通过滑轨滑动设置在转接板上，其特征在于：所述转接板的一端设有立柱，立柱的上端转动设置一转轴，所述转轴的一端为定位销，定位销插入过渡板一端的定位孔，转轴的另一端下方设置弹簧，通过弹簧与转接板弹性连接，转轴的另一端上方设有按键，所述按键的上端连接气缸，所述气缸连接固定在机架一侧的支撑架。

作为本实用新型的进一步改进，所述弹簧为压簧，转轴的另一端下方设有弹簧卡槽，对应的转接板的上方也同样设有弹簧卡槽，弹簧的上下两端都嵌入弹簧卡槽内。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的等离子处理基板单槽台车的过渡板固定装置能够在过渡板处于不使用状态时，固定过渡板的位置，从而保证设置在过渡板上方的单槽台车不会产生位置偏移，确保在单槽台车在输送至等离子处理腔体前，待处理的基板能够准确进入等离子处理腔体，避免因为位置偏移导致撞伤等离子处理腔体内的电极板，造成损失。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1中A部放大示意图；

图中标示：1-过渡板；2-转接板；3-立柱；4-转轴；5-定位销；6-定位孔； 7-弹簧；8-按键；9-气缸；10-支撑架。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。