[实用新型]一种靶材喷砂遮蔽装置有效
| 申请号： | 202120551470.2 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN214490223U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;朱雪明 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种靶材喷砂遮蔽装置，所述靶材喷砂遮蔽装置包括遮蔽板、保护层以及固定件；所述遮蔽板的形状尺寸与待喷砂靶材的溅射面的形状尺寸相同，并设置于所述溅射面的上方；所述保护层的形状尺寸与所述遮蔽板的形状尺寸相同，并设置于所述遮蔽板与所述溅射面之间；所述固定件至少包括2个，每个所述固定件的一端固定在待喷砂靶材上，另一端固定在所述遮蔽板上。所述靶材喷砂遮蔽装置不仅可以达到保护靶材溅射区的目的，还可以重复使用，避免胶残留，而且所述遮蔽板的形状尺寸可以根据待喷砂靶材的溅射面的形状尺寸进行定制，可以将其用作尺寸标尺进行刀片裁剪，提高遮蔽效率、良品率以及靶材喷砂的整体周转率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂 遮蔽 装置 | ||
【主权项】：
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