[实用新型]一种靶材喷砂遮蔽装置有效
| 申请号： | 202120551470.2 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN214490223U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;朱雪明 | 申请（专利权）人： | 合肥江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C9/00 | 分类号： | B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂 遮蔽 装置 | ||
1.一种靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述靶材喷砂遮蔽装置包括遮蔽板、保护层以及固定件；
所述遮蔽板的形状尺寸与待喷砂靶材的溅射面的形状尺寸相同，并设置于所述溅射面的上方；
所述保护层的形状尺寸与所述遮蔽板的形状尺寸相同，并设置于所述遮蔽板与所述溅射面之间；
所述固定件至少包括2个，每个所述固定件的一端固定在待喷砂靶材上，另一端固定在所述遮蔽板上。
2.根据权利要求1所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述遮蔽板在远离所述溅射面的表面设置手提件。
3.根据权利要求1所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述遮蔽板的厚度为10-30mm。
4.根据权利要求1所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述保护层的厚度为3-7mm。
5.根据权利要求1所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述保护层包括蓝膜。
6.根据权利要求1所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述保护层通过铁氟龙胶带与所述溅射面进行固定连接。
7.根据权利要求1所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，每个所述固定件的一端通过螺纹固定在待喷砂靶材上，另一端以挤压方式固定在所述遮蔽板上。
8.根据权利要求1所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述靶材喷砂遮蔽装置还包括定位件。
9.根据权利要求8所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述定位件至少包括2个。
10.根据权利要求8所述的靶材喷砂遮蔽装置，其特征在于，所述定位件为L型定位件。
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