[实用新型]一种用于多晶硅生产的氢气循环系统有效
| 申请号： | 202120454051.7 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN214456888U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 司文学;汤传斌;张升学;杨永亮;万烨;严大洲 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 于宝庆;崔香丹 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种用于多晶硅生产的氢气循环系统。该氢气循环系统包括：第一氢气循环子系统，与第一氢气循环子系统中的第一氢气储存装置相连接的第一氢气纯化装置；所述第一氢气纯化装置相连接的第二氢气循环子系统、以及再生气回收装置，所述再生气回收装置与所述第一氢气储存装置相连接用于向所述第一氢气储存装置输送回收的氢气。本申请的氢气循环系统适用于太阳能级多晶硅、电子级多晶硅、区熔级多晶硅共存的生产，可以为太阳能级多晶硅、电子级多晶硅、区熔级多晶硅的生产分别提供满足不同要求的氢气源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 生产 氢气 循环系统 | ||
【主权项】：
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