[实用新型]一种灯丝镓离子结合装置有效
申请号: | 202120365574.4 | 申请日: | 2021-02-09 |
公开(公告)号: | CN214254339U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 郝占海;蔡素枝;陆梁 | 申请(专利权)人: | 大束科技(北京)有限责任公司 |
主分类号: | H01J37/08 | 分类号: | H01J37/08;H01J37/26 |
代理公司: | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人: | 陈义 |
地址: | 102200 北京市昌平区回*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种灯丝镓离子结合装置,涉及灯丝制造技术领域,解决了现有技术中存在的镓离子源发射针尖与镓结合效果不理想的技术问题。该灯丝镓离子结合装置包括真空腔室,在真空腔室内设置有固定基座和托盘,固定基座设置在真空腔室的上部,灯丝座固定在固定基座的底部,灯丝座能够通电使灯丝座上的灯丝加热;镓离子液放置在托盘内,在托盘上方设置有加热机构,加热机构包含若干个加热灯泡,若干个加热灯泡环绕在灯丝座四周;在托盘的底部设置有升降机构,升降机构带动托盘在真空腔室内升降移动,使固定在灯丝座底部的灯丝能够进入托盘内的镓离子液中。本实用新型用于提供一种提高镓离子源发射针尖与镓结合效果的灯丝镓离子结合装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 灯丝 离子 结合 装置 | ||
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