[实用新型]一种制备Hf02基纳米铁电薄膜的集成制备装置

摘要

本实用新型涉及铁电薄膜制备技术领域，且公开了一种制备Hf02基纳米铁电薄膜的集成制备装置，包括加热箱，所述加热箱的前侧开设有移动口，所述加热箱的两侧均开设有进口，所述移动口的内腔活动套接有移动杆，所述移动杆的前侧固定安装有手柄，所述移动杆后侧的上下侧均固定安装有圆杆，所述圆杆的底部固定安装有支撑板。该制备Hf02基纳米铁电薄膜的集成制备装置，通过移动口的内腔里设有夹板和弹簧，将铁电薄膜基膜放置在两个夹板之间，由于两个夹板之间利用弹簧固定连接，使得铁电薄膜基膜能够紧紧的夹持，推动手柄上的移动杆在移动口内移动，使得铁电薄膜基膜能够从加热箱的一侧穿到另一侧，便于工作人员使用。