[实用新型]镀膜设备

摘要

本申请公开了一种镀膜设备，包括镀膜室以及转动安装于镀膜室内、用于承载镀膜工件的转架，镀膜设备还包括：气电组合滑环，带有相对的固定部和旋转部，固定部和旋转部上配置有相应的电路接头和流体接头，固定部相对于镀膜室固定安装，旋转部与转架绕相同轴线布置；晶振传感器，固定于转架、以采集镀膜厚度信号，晶振传感器通过导线与旋转部上的电路接头相连；冷却管路，与晶振传感器热耦合，冷却管路与旋转部上的流体接头连通。本申请的镀膜设备，通过将晶振传感器固定在转架上并跟随转架的转动而旋转，因此能够及时、准确的测量镀膜工件的膜厚度值。