[实用新型]镀膜设备

权利要求书

1.镀膜设备，包括镀膜室以及转动安装于所述镀膜室内、用于承载镀膜工件的转架，其特征在于，所述镀膜设备还包括：

气电组合滑环，带有相对的固定部和旋转部，所述固定部和所述旋转部上配置有相应的电路接头和流体接头，所述固定部相对于所述镀膜室固定安装，旋转部与所述转架绕相同轴线布置；

晶振传感器，固定于所述转架、以采集镀膜厚度信号，所述晶振传感器通过导线与所述旋转部上的电路接头相连；

冷却管路，与所述晶振传感器热耦合，所述冷却管路与所述旋转部上的流体接头连通。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述固定部安装于所述镀膜室的顶壁、且与所述顶壁之间带有密封圈。

3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，所述顶壁开设有安装孔，所述固定部插设于所述安装孔，且与所述安装孔的内缘之间采用磁流体密封相配合。

4.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述导线以及所述冷却管路并排布置延伸。

5.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述晶振传感器固定在所述转架的外周部位，所述导线以及所述冷却管路由所述旋转部向下延伸后水平转折、并延伸至所述晶振传感器。

6.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述冷却管路为多段式，相邻段之间采用快拆接头相互连通。

7.根据权利要求6所述的镀膜设备，其特征在于，所述冷却管路按照延伸方向包括竖直段和水平段，在所述竖直段和所述水平段分别配置有所述快拆接头。

8.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括布置在所述镀膜室外的膜厚控制仪，所述晶振传感器与膜厚控制仪通过所述气电组合滑环电路连接，所述膜厚控制仪接收所述晶振传感器的信号并相应的提示膜厚。

9.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括冷却介质供应装置，所述冷却管路通过所述气电组合滑环与冷却介质供应装置连通。

10.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述晶振传感器通过一基座固定在所述转架上，所述晶振传感器的感应元件朝向转架径向外侧，所述基座抱拢所述晶振传感器朝向转架径向内侧的部位。