[实用新型]一种七氟异丁腈混合气体配置的装置有效
申请号: | 202120296147.5 | 申请日: | 2021-02-02 |
公开(公告)号: | CN214486772U | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 权恒道;庆飞要;郭勤;董利;贾晓卿 | 申请(专利权)人: | 化学与精细化工广东省实验室;北京宇极科技发展有限公司 |
主分类号: | B01F15/04 | 分类号: | B01F15/04;B01F3/02 |
代理公司: | 北京兆君联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11333 | 代理人: | 胡敬红 |
地址: | 515000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供一种七氟异丁腈混合气体配置的装置,第一单向阀1、第二单向阀2、第一调节阀、第二调节阀、缓冲罐、第一压力调节器、第二压力调节器、第一流量计、第二流量计、第一电磁阀、混气罐、第二电磁阀、真空泵、高精度压力表以及控制模块。本实用新型提供的七氟异丁腈混合气体配置的装置通过高精度的流量计对七氟异丁腈和低沸点气体精确计量,依靠调节阀、恒压器和流量计的同时调节,从而实现更为精确、狭窄的调节梯度,提高了七氟异丁腈混合气体配置的精确度,可以很好的满足电气设备对于混合气体混合比精度的要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 七氟异丁腈 混合气体 配置 装置 | ||
【主权项】:
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