[实用新型]一种槽式电化学沉积用药液添加装置有效

专利信息
申请号: 202120259417.5 申请日: 2021-01-29
公开(公告)号: CN214271091U 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 蒋新;张军;施利君;陈书良 申请(专利权)人: 苏州晶洲装备科技有限公司
主分类号: C25D17/00 分类号: C25D17/00;C25D21/14
代理公司: 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 代理人: 朱华庆
地址: 215500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种槽式电化学沉积用药液添加装置,它包括:加液桶,所述加液桶内设置有液位计;进液管路,所述进液管路的出口连接在所述加液桶底部;出液管路,所述出液管路的进口连接在所述加液桶底部,所述出液管路中设置有气动阀,所述气动阀的出液端设置有节流片。由于进液管路连接在加液桶底部,因此加液时不会冲液液面,不会影响液位计测量液位;且气动阀的出端液设置有节流片,小流量补加进入槽体,可避免气动阀直接开合而挤压管道内残留的药液继续向槽内补加,造成补加不准的问题。因此,提高了药液加液精度。
搜索关键词: 一种 电化学 沉积 用药 添加 装置
【主权项】:
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