[实用新型]真空样品转移系统

摘要

真空样品转移系统包括传样杆、真空管道、外部控制器和用于装载样品的样品转移架，传样杆设置在真空管道内，真空管道的一端与真空腔室气密性连接,外部控制器安装在真空管道的另一端上，并与传样杆驱动连接，可带动传样杆在真空管道内轴向移动和旋转；传样杆上设置有凸卡，样品转移架上设置有与凸卡可拆卸连接的限位部；在外部控制器的控制下传样杆旋转，可实现传样杆的凸卡与样品转移架的限位部卡接或脱离。本实用新型提供一种真空样品转移系统，在连通的真空腔室之间传递样品，操作简单方便，适用于对于批量性工业化生产的真空样本传递。