[实用新型]一种蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 202120177597.2 | 申请日： | 2021-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN215251116U | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 乔小平 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 黄宏彪 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀坩埚，包括内坩埚和外坩埚；所述内坩埚嵌套在所述外坩埚内部，所述内坩埚的外侧壁紧贴所述外坩埚的内侧壁；所述内坩埚的顶部设置有内折边缘以及位于所述内折边缘之间的开口；所述内坩埚的内部用于盛放蒸镀金属材料。本实用新型通过将坩埚分为内外两层紧贴的结构，将金属材料装于内层坩埚中，利于热传导的同时有效避免金属材料蒸镀冷却过程中坩埚内壁受拉力造成破裂从而导致金属材料泄露到设备外造成设备损坏，并且通过对内层坩埚的开口处设置内折边缘，有助于内坩埚的放入或取出的同时也有效防止了蒸镀过程中汽化的材料蒸汽喷到外坩埚的内侧壁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 | ||
【主权项】：
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