[实用新型]一种晶片清洗加热石英缸有效
| 申请号： | 202120098658.6 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN214391387U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 郭城;吕明;李充;郭英云;高悦 | 申请（专利权）人： | 山东科芯电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 山东瑞宸知识产权代理有限公司 37268 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 250200 山东省济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶片清洗加热石英缸，包括石英缸和与其配合的石英缸盖，所述石英缸为正六面箱体结构，石英缸的四个侧面和底部均布有加热丝一，所述石英缸的底部内侧设置有十字凸起，所述石英缸的底部由十字凸起均分成四个区域，四个区域内均设置有硅片花篮，所述十字凸起为中心断开结构，所述十字凸起的断开处设有废液排液口，所述十字凸起内部布有加热丝二，所述石英缸盖与石英缸活动连接，所述石英缸盖顶部一侧设有排气管。本实用新型在石英缸的底部增设内部布有加热丝的十字凸起，加热面积增加，提高了加热效率；设置带有排气管的石英缸盖，在一定程度上起到了保温的作用，降低了生产能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 清洗 加热 石英 | ||
【主权项】：
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