[实用新型]磁吸式探针卡装置有效
| 申请号： | 202120016530.0 | 申请日： | 2021-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN214374930U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 吴铭钦;刘峰;黄宏义 | 申请（专利权）人： | 苏州雨竹机电有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一探针上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，电磁铁能产生磁力，以将复数探针吸附至晶圆测试平台，令复数探针接触到晶圆测试平台上的晶圆，以进行晶圆检测。本实用新型可利用磁力吸附探针接触到晶圆，能有效确保复数探针都接触晶圆探测点，且避免探针被过度施力，减少探针结构的疲劳或断裂，同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。 | ||
| 搜索关键词： | 磁吸式 探针 装置 | ||
【主权项】：
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