[发明专利]一种测量重离子能量和种类的方法在审
| 申请号： | 202111673047.0 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114296122A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 叶兵;刘杰;孙友梅;蔡莉;罗捷;赵培雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29;G06F17/15 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 刘小娟 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量重离子能量和种类的方法。方法包括：选用多个不同LET值的重离子束流，对三维堆叠结构器件进行单粒子效应标定，获得单粒子效应截面随LET的变化关系；对标定的数据进行Weibull函数拟合，获得三维堆叠结构器件的单粒子效应截面随LET变化的曲线；将重离子对三维堆叠结构器件开展单粒子效应测试，获得分层的单粒子效应截面；基于标定的曲线确定在每一层的单粒子效应截面所对应的LET值，结合每一层的深度得到LET值随入射深度的变化，通过对比数据库中LET值随入射深度的变化关系，确定重离子的能量及种类。本发明提高了重离子能量测量的精度和重离子种类探测的可靠性，同时一定程度上解决了重离子能量和种类探测器性能随时间退化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 离子 能量 种类 方法 | ||
【主权项】：
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