[发明专利]一种新型激光束修补机工作台在审
申请号: | 202111667612.2 | 申请日: | 2021-12-31 |
公开(公告)号: | CN114310007A | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 华卫群;尤春;刘维维;薛文卿 | 申请(专利权)人: | 无锡中微掩模电子有限公司 |
主分类号: | B23K26/70 | 分类号: | B23K26/70;B23K26/00 |
代理公司: | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人: | 邓琪 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型激光束修补机工作台,包括放置平台,放置平台的顶部开设有放置槽,放置槽的四角均固定连接有三角支撑板,放置槽的底部固定连接有四个L形限位条,放置槽的底部位于四个L形限位条之间设有三个支撑顶针,放置槽的外部镂空,本发明的有益效果:本装置操作简单方便,通过放置槽与L形限位条能够对不同型号的掩膜版进行限位,再通过底部设置的伺服电机对掩膜版进行微调,使显示图像更加清晰,提高精准性。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 激光束 修补 机工 | ||
【主权项】:
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