[发明专利]一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置在审
| 申请号： | 202111655857.3 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114378054A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 黄良玉;魏宝仁;傅云清;姚科 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蔡彭君 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置。把三维扫描激光放在真空靶外，简化了移动靶台和移动激光器所需的复杂设计，减少了装置经济成本。把待清洗的样品及收集装置放在真空靶室中进行，阻止了清洗目标逃逸到环境中污染环境，同时真空腔室起到防辐射作用，特别适用于剧毒样品和辐射类样品的清洗和收集，并且很好地保护了已清洗样品表面的洁净。样品安装台与等离子体吸收靶筒连上抑制电势，有效地阻止等离子体的逃逸，增加等离子的收集效率。独特的光路结构，光学机构做移动扫描运动时，总光程可实验自动补偿，激光聚焦光斑可自锁到样品靶面上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 三维 扫描 激光 表面 清洗 收集 装置 | ||
【主权项】：
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