[发明专利]一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置

权利要求书

1.一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，包括直流电源，以及沿光路依次设置的第一方向移动聚焦透镜组件、固定反射镜、第二方向移动反射镜组件和第一方向移动反射镜组件和真空靶室，所述固定反射镜的入射光线和反射光线，以及第二方向移动反射镜组件的反射光线在同一平面中且与第一方向移动反射镜组件的反射光线第二方向；

所述真空靶室内设有等离子体屏蔽室，等离子体吸收室，等离子体吸收靶筒和样品安装台，且所述真空靶室、等离子体屏蔽室和等离子体吸收室上设有用于经由第一方向移动反射镜组件反射的光线射入至样品安装台上的入口，所述等离子体吸收室置于等离子体屏蔽室内，所述等离子体吸收靶筒和样品安装台均置于等离子体吸收室内，所述等离子体吸收靶筒位于样品安装台被光线照射的一侧；

所述等离子体屏蔽室连接至所述直流电源的正极，所述等离子体吸收室连接至直流电源的负极。

2.根据权利要求1所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述第一方向移动聚焦透镜组件包括聚焦透镜、透镜安装座和第一电动平移台组成，所述聚焦透镜通过透镜安装座安装于第一电动平移台上，所述第一电动平移台为一维电动平移台；

所述第二方向移动反射镜组件包括第一反射镜、第一反射镜安装座和第二电动平移台组成，所述第一反射镜通过第一反射镜安装座安装于第二电动平移台上，所述第二电动平移台为一维电动平移台；

所述第一方向移动反射镜组件包括第二反射镜、第二反射镜安装座和第三电动平移台组成，所述第二反射镜通过第二反射镜安装座安装于第三电动平移台上，所述第三电动平移台为一维电动平移台。

3.根据权利要求2所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述第二反射镜的法线入射至第二反射镜的光线的夹角为45度。

4.根据权利要求2所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述第二反射镜的轴面和样品安装台平面呈90度设置。

5.根据权利要求1所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述等离子体屏蔽室和等离子体吸收室的主体均为金属空心圆柱筒。

6.根据权利要求5所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述金属空心圆柱筒的两端分别设有下滤网底板和上滤网盖板。

7.根据权利要求1所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述等离子体吸收靶筒为金属圆筒，通过螺栓固定安装于等离子体吸收室内壁。

8.根据权利要求7所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述金属圆筒的内壁经过磨砂处理。

9.根据权利要求1所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述样品安装台上的样品由绝缘安装件固定。

10.根据权利要求1所述的一种真空型三维扫描激光表面清洗和收集装置，其特征在于，所述第一方向为水平方向，第二方向为竖直方向。