[发明专利]一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构

摘要

一种基于复合结构的准零刚度柔性导向结构，它涉及精密仪器及机械技术领域。本发明解决了现有的柔性导向机构存在无法通过纯柔性机构实现大行程，高精度的导向功能，且无法克服长行程柔性机构产生大变形回弹力带来的控制问题。本发明的直线电机驱动模块的动子与运动部件连接，两组负刚度复合结构组件对称设置在运动部件两侧，负刚度复合结构组件一端与运动部件侧面中部垂直连接，负刚度复合结构组件另一端与一组负刚度簧片固定组件连接，每个中部固定基座与两个中间连接体之间分别连接有一组外层导向结构，每个系统固定结构与两个中间连接体之间均分别通过一组折叠簧片结构连接。本发明在大行程直线运动中满足高精度要求，为光刻机提供高精度直线导向。