[发明专利]一种光刻胶中重氮甲烷类光致产酸剂的鉴定方法在审
| 申请号： | 202111647501.5 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114252537A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 胡小娜;高剑琴;李秋荣;纪爱亮;鲁代仁;董栋;张宁 | 申请（专利权）人： | 北京彤程创展科技有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/06 | 分类号： | G01N30/06;G01N30/88 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李爱民;相黎超 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本申请涉及光刻胶分析技术领域，具体公开了一种光刻胶中重氮甲烷类光致产酸剂的鉴定方法包括：S1、从待测的光刻胶样品中提取含有光致产酸剂的待测清液；待测清液经过GC‑MS分析检测，得到GC‑MS总离子流色谱图；S2、重氮甲烷类光致产酸剂的鉴定：在GC‑MS总离子流色谱图中提取特征离子碎片；通过逐一比对含有特征离子碎片的特征组分的保留时间和质谱图，鉴别特征离子碎片的峰是否为特征组分的信号峰；特征组分结构式如式I所示，m为1或2；R1和R2各自独立地选自直链或支链烷基、环烷基、芳基、酰基。本申请使用特征离子碎片的提取、以及保留时间和质谱图的双对比识别方法，从而使本申请获得了鉴定精准、判断快速的效果。 |
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| 搜索关键词： | 一种 光刻 胶中重氮 甲烷 类光致产酸剂 鉴定 方法 | ||
【主权项】：
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