[发明专利]空腔型倒置声波器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202111647253.4 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114301413A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 潘峰 | 申请（专利权）人： | 苏州达波新材科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空腔型倒置声波器件及其制备方法。所述空腔型倒置声波器件包括支撑基底、电极和压电薄膜。所述支撑基底表面设置有一个以上凹槽，所述电极设置于所述凹槽内，所述压电薄膜设置在支撑衬底表面并覆盖所述凹槽，所述电极与压电薄膜电性结合。本发明的空腔型倒置声波器件兼具声表面波和体声波的优势，性能优异，且器件表面平整，在保证器件基本性能的同时，便于实现不同种类的性能调控，应用范围广，同时其制备难度和成本低，良率高，易于规模化生产及推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 倒置 声波 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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