[发明专利]镀膜材料存放装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法有效
| 申请号： | 202111639074.6 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114293168B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 刘玮;朱昆;曹健辉;陈惠君;颜学庆;刘晓兰 | 申请（专利权）人： | 广东省新兴激光等离子体技术研究院;等离子体装备科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 | 代理人： | 王园园 |
| 地址： | 510000 广东省广州市白云区北太路1*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种镀膜材料存放装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法，所述镀膜材料存放装置包括：连接真空腔室的密封腔室，用于放置真空镀膜设备镀膜使用的镀膜材料；设于密封腔室与真空腔室接合处的真空阀门，用于连通或者分隔密封腔室与真空腔室；连接真空阀门的驱动装置，用于驱动打开或者关闭真空阀门；连接驱动装置的控制装置，用于控制驱动装置在镀膜过程中打开真空阀门，在镀膜后关闭真空阀门，对密封腔室内的镀膜材料进行密封保护；该技术方案，避免了密封腔室内的镀膜材料与空气接触发生反应或者被吸附污染，保证了镀膜材料的纯度，使得在镀膜过程中，无需频繁清洁镀膜材料，提高了镀膜效率，也提升了镀膜效果。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 材料 存放 装置 真空镀膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
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