[发明专利]一种晶圆清洗检测装置在审
| 申请号： | 202111597453.3 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114397302A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 肖飞;顾雪龙;孙臣 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/30 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶片检测技术领域，具体是一种晶圆清洗检测装置，包括工作台、侧板和按压检测器，所述按压检测器包括有检测器外壳，所述检测器外壳的顶部开设有检测孔，所述检测器外壳的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有滑动块，所述滑动块的一侧固定连接有限位块，所述限位块远离滑动块的一侧固定连接有滑杆，所述滑动块远离限位块的一侧固定连接有分隔杆，所述检测器外壳的另一侧内部开设有第二滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有限位滑块，所述分隔杆远离滑动块的一端与限位滑块固定连接，本发明相比于现有的打光人眼观察，通过按压使pvc彩色荧光软膜与底板接触成像，能快速直观判断，成本低，能重复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 检测 装置 | ||
【主权项】：
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