[发明专利]一种晶圆清洗检测装置

说明书

本发明涉及晶片检测技术领域，具体是一种晶圆清洗检测装置，包括工作台、侧板和按压检测器，所述按压检测器包括有检测器外壳，所述检测器外壳的顶部开设有检测孔，所述检测器外壳的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有滑动块，所述滑动块的一侧固定连接有限位块，所述限位块远离滑动块的一侧固定连接有滑杆，所述滑动块远离限位块的一侧固定连接有分隔杆，所述检测器外壳的另一侧内部开设有第二滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有限位滑块，所述分隔杆远离滑动块的一端与限位滑块固定连接，本发明相比于现有的打光人眼观察，通过按压使pvc彩色荧光软膜与底板接触成像，能快速直观判断，成本低，能重复使用。

技术领域

本发明涉及晶片检测技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗检测装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，晶圆制造厂再把许多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”，硅晶棒再经过切段，滚磨，切片，倒角，抛光，激光刻，包装后，即成为积体电路工厂的基本原料—硅晶圆片，这就是“晶圆”；PVC主要成分为聚氯乙烯，为微黄色半透明状，有光泽，透明度胜于聚乙烯、聚丙烯，差于聚苯乙烯，随助剂用量不同，分为软、硬聚氯乙烯，软制品柔而韧，手感粘，硬制品的硬度高于低密度聚乙烯，而低于聚丙烯，在屈折处会出现白化现象，是一种使用一个氯原子取代聚乙烯中的一个氢原子的高分子材料；晶圆在清洗过后，需要查看上面是否有划痕，毛刺，现在的技术就是用人眼在探照灯下看，探照灯相当于汽车的大灯，长时间使用探照灯对着晶圆查看检测对眼睛的伤害特别大，而且效率低下，检测的精准度不高，而使用使用高精度的成像检测仪造价高，成本大。

因此，现在亟需设计能解决上述一个或者多个问题的一种晶圆清洗检测装置。

发明内容

为解决现有技术中存在的一个或者多个问题，本发明提供了一种晶圆清洗检测装置。

本发明为达到上述目的所采用的技术方案是：一种晶圆清洗检测装置，包括工作台、侧板和按压检测器，所述按压检测器包括有检测器外壳，所述检测器外壳的顶部开设有检测孔，所述检测器外壳的一侧开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有滑动块，所述滑动块的一侧固定连接有限位块，所述限位块远离滑动块的一侧固定连接有滑杆，所述滑动块远离限位块的一侧固定连接有分隔杆，所述检测器外壳的另一侧内部开设有第二滑槽，所述第二滑槽内滑动连接有限位滑块，所述分隔杆远离滑动块的一端与限位滑块固定连接。

优选的，所述检测器外壳的内底部固定连接有底板，所述检测器外壳的两侧内部对称开设有第三滑槽，每个所述第三滑槽的底部均对称固定连接有多个第二弹簧，每个所述第三滑槽内均滑动连接有缓冲块，每个所述缓冲块的底部均与多个对应第二弹簧固定连接，两个所述缓冲块之间共同固定连接有pvc彩色荧光软膜。

优选的，所述工作台的顶部固定连接有侧板，所述侧板的内部开设有摆动槽，所述摆动槽的内底部固定连接有固定板，所述固定板的一侧通过转轴转动连接有第三连杆和第一连杆，所述固定板的靠近第三连杆的一侧转动连接有转动杆，所述转动杆远离固定板的一端贯穿第一连杆的另一端，所述第一连杆远离固定板的一侧设有第二连杆，所述第二连杆的一端与转动杆转动连接。

优选的，所述第二连杆的另一端和第三连杆的另一端均通过转轴共同转动连接有第四连杆，所述第四连杆远离侧板的一端固定连接有连接板，所述连接板远离第四连杆的一侧与按压检测器的底部固定连接。

优选的，所述转动杆远离固定板的一端贯穿侧板转动连接有转盘，所述转盘远离侧板的一侧固定连接有转杆。

优选的，所述工作台的顶部固定连接有第一导向板、第二导向板、第三导向板和限位槽板。