[发明专利]一种超高精度位移测量装置有效
| 申请号： | 202111596178.3 | 申请日： | 2021-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN114485413B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 许家兴 | 申请（专利权）人： | 上海羿弓精密科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 陈天宝 |
| 地址： | 201615 上海市松江区九*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高精度位移测量装置，包括底座、气浮滑台、V型定位块、直线光栅传感器，其中底座上设有大理石导轨；气浮滑台设于底座的大理石导轨上；V型定位块设于所述气浮滑台上；气缸设于所述气浮滑台上；V型限位块与所述气缸的输出端连接，在气缸回拉时，所述V型限位块的V型凸出端能够与所述V型定位块的V型槽匹配对接；直线光栅传感器设于所述V型限位块上，所述直线光栅传感器能够实时获取与目标物表面之间的距离值。与现有技术相比，本发明通过V型定位块、V型限位块、气缸的相互配合，实现测量头的精准收放，显著提升了位移测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 精度 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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