[发明专利]一种基于视觉的单晶炉液位、单晶棒直径测量方法及装置在审
| 申请号： | 202111586344.1 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114232081A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 肖淑英;温培刚;陈小虎 | 申请（专利权）人： | 航天智造（上海）科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201601 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于视觉的单晶炉液位、单晶棒直径测量方法及装置，先手动进行液位标定和相机参数标定，在线生产时结合已有标定数据和图像测量出的液口距像素值、直径像素值，来换算实际的液位及单晶棒直径，并将它们做为输入发送给温度控制系统和液位控制系统。可以减少人工干预，实现单晶硅生长炉生产过程的自动化、智能化控制，提高单晶棒的等径生成质量，以提升半导体行业的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 视觉 单晶炉液位 单晶棒 直径 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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