[发明专利]一种测量装置及手套箱在审
| 申请号： | 202111584552.8 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN113970750A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 陈章龙;尧舜;胡斌;刘晨晖;董国亮;康联鸿;冒凯;戴伟;汤秀娟 | 申请（专利权）人： | 华芯半导体研究院（北京）有限公司;华芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S17/08 | 分类号： | G01S17/08;G01C9/00;B25J21/02 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种测量装置及手套箱，所述测量装置包括：检测模块(1)，用于检测第一待测面(61)上不同点到检测面(11)的距离；所述检测模块(1)设置在外壳(4)内部，外壳(4)内还设有可移动的第一待测物(6)，所述第一待测物(6)具有所述第一待测面(61)；读出/示出模块，用于读出/示出所述第一待测面(61)上不同点到检测面(11)的距离。本申请实施例的测量装置，能够检测待测平面或具有该平面的基体的设置情况，而且检测信息可以读出或示出，相对于肉眼检测，当用于手套箱等具有不易从外部观察的外壳内，可以避免外壳对视觉的影响，检测精度得到保证。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 装置 手套 | ||
【主权项】：
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