[发明专利]一种带有多种顶电极形状的薄膜体声波谐振器有效
| 申请号： | 202111583874.0 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN113965183B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518110 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种带有多种顶电极形状的薄膜体声波谐振器。所述薄膜体声波谐振器包括基体、布拉格反射层、底电极、压电层和顶电极；所述布拉格反射层设置于所述基体的安装槽中；所述底电极设置于所述布拉格反射层上方；所述压电层设置于所述底电极上方所述顶电极设置于所述压电层上方；所述顶电极包括三边形电极、四边形电极和五边形电极；所述三边形电极、四边形电极和五边形电极均包含三层电极区域，并且，所述三层电极区域的制作材料和形状均不形同。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 多种 电极 形状 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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