[发明专利]一种带有多种顶电极形状的薄膜体声波谐振器

说明书

本发明提出了一种带有多种顶电极形状的薄膜体声波谐振器。所述薄膜体声波谐振器包括基体、布拉格反射层、底电极、压电层和顶电极；所述布拉格反射层设置于所述基体的安装槽中；所述底电极设置于所述布拉格反射层上方；所述压电层设置于所述底电极上方所述顶电极设置于所述压电层上方；所述顶电极包括三边形电极、四边形电极和五边形电极；所述三边形电极、四边形电极和五边形电极均包含三层电极区域，并且，所述三层电极区域的制作材料和形状均不形同。

技术领域

本发明提出了一种带有多种顶电极形状的薄膜体声波谐振器，属于薄膜滤波器技术领域。

背景技术

薄膜体声波谐振器的基本原理是基于压电材料的机械能和电能转换，因此，其压电复合膜的品质因数影响了薄膜体声波谐振器的损耗和滚降特性。然而，由于薄膜体声波谐振器的电极比较薄，其电极振动时产生的横波会在一定程度上降低压电复合膜的品质因数，进而导致薄膜体声波谐振器性能不足的问题发生。

发明内容

本发明提供了一种带有多种顶电极形状的薄膜体声波谐振器，用以解决现有薄膜体声波谐振器在振动做成中横向波抑制不足导致薄膜体声波谐振器运行稳定性较低的问题，所采取的技术方案如下：

一种带有多种顶电极形状的薄膜体声波谐振器，所述薄膜体声波谐振器包括基体、布拉格反射层、底电极、压电层和顶电极；所述布拉格反射层设置于所述基体的安装槽中；所述底电极设置于所述布拉格反射层上方；所述压电层设置于所述底电极上方所述顶电极设置于所述压电层上方；所述顶电极包括三边形电极、四边形电极和五边形电极；所述三边形电极、四边形电极和五边形电极均包含三层电极区域，并且，所述三层电极区域的制作材料和形状均不形同。

进一步地，所述布拉格反射层包括三层低阻抗层和两层高阻抗层；所述低阻抗层与所述高阻抗层交替堆叠形成布拉格反射层。

进一步地，所述三边形电极、四边形电极和五边形电极的三层电极区域均包括中心电极区域、中间电极区域和边缘电极区域；所述中心电极区域位于所述三边形电极、四边形电极和五边形电极的中心；所述中间电极区域分布于所述中心电极区域的外围；所述边缘电极区域分布于所述中间电极区域的外围部分形成所述顶电极的边缘区域。

进一步地，所述中心电极区域所用材料为石墨烯；所述中间电极区域采用金属钨制成；所述边缘电极区域采用石墨烯和金属钨材料对接而成。

进一步地，所述三边形电极的中心电极区域采用圆形结构；所述三边形电极的中间电极区域采用等边三边形结构；所述三边形电极的边缘电极区域采用圆弧角等边三边形结构；所述三边形电极的边缘电极区域的圆弧角部分设有金属弧形边区域；所述金属弧形边区域沿着所述圆弧角的边缘设置，并且，所述金属弧形边区域的区域宽度不得超过所述边缘电极区域的直线边到所述中间电极区域的直线边之间垂直宽度距离的23%；所述金属弧形边区域采用金属钨材料制成，所述金属弧形边区域以外的所有边缘电极区域均采用石墨烯材料制成。

进一步地，所述三边形电极中心电极区域、中间电极区域和边缘电极区域之间满足如下关系：

其中，R表示所述中心电极区域的半径长度；L₂表示所述中间电极区域的边缘直线到所述中心电极区域边缘的最短垂直距离；L₁表示所述边缘电极区域的直线边到所述中间电极区域的直线边之间垂直宽度。