[发明专利]一种基于FBAR结构的压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202111580991.1 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114295256A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 盖广洪;白鹤 | 申请（专利权）人： | 苏州航凯微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10;H01L41/113;H01L41/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴江区江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于FBAR结构的压力传感器，涉及传感器技术领域，包括基底，基底顶部开设有凹槽，基底表面覆盖有绝缘层；绝缘层与基底顶部凹槽包围形成空气腔室；绝缘层上覆盖有支撑层，支撑层上设置有压电振荡堆；基底底部还开设有背部凹槽；还包括封装盖帽，封装盖帽键合安装于基底顶部；封装盖帽底部设置有容纳压电层和顶电极的凹槽；封装盖帽上还开设有上下贯穿的通孔，通孔内壁覆盖有金属种子层，通孔内还填充有通孔金属。本发明还公开了上述压力传感器的制备方法。本发明传感器可通过对基底的背部凹槽施加压力，引起基底正面压电振荡堆的形变，从而改变压电振荡堆的输出频率，实现了机械信号转换为电信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 fbar 结构 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州航凯微电子技术有限公司，未经苏州航凯微电子技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111580991.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
