[发明专利]一种密封结构及扫描电镜在审
| 申请号： | 202111567092.8 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114062401A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 刘其武 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/20;G01N23/20008 |
| 代理公司： | 北京布瑞知识产权代理有限公司 11505 | 代理人： | 孙健康 |
| 地址： | 100089 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种密封结构及扫描电镜，涉及真空密封技术领域，用于对腔室上供物体进出的传送通道进行密封，腔室的腔室壁上，围绕传送通道的通道口设置有固定密封面；密封结构包括有活动地连接在腔室壁上的密封部件，密封部件设置有移动密封面，密封部件移动来打开或闭合传送通道，且闭合通道口时，移动密封面与固定密封面压抵贴合而密封通道口。本申请提供的密封结构，以在保证密封及隔离效果的基础上，解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题，同时，该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 结构 扫描电镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科科仪股份有限公司，未经北京中科科仪股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111567092.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铝电解电容器及其制备方法
- 下一篇：能适应丝杆热变形的丝杆安装结构
