[发明专利]光处理构件、包括该光处理构件的基板处理装置以及基板处理方法在审
| 申请号： | 202111563208.0 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114650629A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 权五镇 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00;H05B3/02;H05B1/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 钟锦舜;石宝忠 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明构思提供一种用于对基板进行光处理的光处理构件。光处理构件包括电路单元，该电路单元包括串联连接的多个LED模块单元，各个LED模块单元包括并联连接的多个相同的LED模块。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 构件 包括 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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