[发明专利]一种膜电极厚度检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202111560207.0 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114234821A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 刘建国;周扬;李佳 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜电极厚度检测装置及检测方法，该装置包括样品台，位于样品台相对的两个方向上分别设有激光器，相对的激光器向膜电极的两个表面发射激光；样品台活动设置于运动导轨上，运动导轨由控制系统控制。该方法为：将样品台固定在运动导轨之上，运动导轨由控制系统确定运动轨迹，一组激光器发射的激光相对；经过数据收集系统和处理系统，可以得到膜电极的平均厚度。本发明将激光测距技术引入膜电极生产线中，与常规的单侧激光测距不同，本发明双侧激光测距可以实现对膜电极表面全覆盖式的取点检测，确保膜电极生产过程中厚度检测的准确性；检测精度可达到0.1μm；不会对膜电极结构造成破坏，可运用于实际膜电极工业生产中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 厚度 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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