[发明专利]一种膜电极厚度检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 202111560207.0 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114234821A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 刘建国;周扬;李佳 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电极 厚度 检测 装置 方法 | ||
1.一种膜电极厚度检测装置，其特征在于，包括用于放置膜电极的样品台(1)，位于所述样品台(1)相对的两个方向上分别设有激光器(2)，相对的激光器(2)向膜电极的两个表面发射激光；所述样品台(1)活动设置于运动导轨上随运动导轨而运动，所述运动导轨由控制系统控制。
2.根据权利要求1所述的膜电极厚度检测装置，其特征在于，所述样品台(1)相对的两个方向上的一组激光器(2)处于同一竖直线上，使激光器(2)发射的激光相对。
3.根据权利要求1所述的膜电极厚度检测装置，其特征在于，所述运动导轨包括带动样品台(1)沿X方向、Y方向移动的X向导轨(3)、Y向导轨(4)。
4.一种利用权利要求1所述膜电极厚度检测装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
(A)将膜电极固定于样品台(1)上；
(B)控制系统复位样品台(1)位置，使样品台(1)处于初始点；
(C)启动测试：控制系统控制运动导轨带动样品台(1)运动，位于样品台(1)相对的两个方向上的激光器(2)开启，信息处理系统采集激光信息；
(D)测试结束后，从信息处理系统可以得知膜电极的各个取点处厚度情况。
5.根据权利要求4所述利用膜电极厚度检测装置的检测方法，其特征在于，步骤(C)中，通过控制系统设置样品取点个数、样品取点距离、轨道移动距离。
6.根据权利要求4所述利用膜电极厚度检测装置的检测方法，其特征在于，步骤(C)中，调整两个激光器(2)的位置，使两个激光器(2)发射的激光处于同一垂直线。
7.根据权利要求4所述利用膜电极厚度检测装置的检测方法，其特征在于，步骤(C)中，所述运动导轨在X-Y两个方向上移动。
8.根据权利要求7所述利用膜电极厚度检测装置的检测方法，其特征在于，所述X方向取点个数范围为1～50，Y方向取点个数范围为1～50。
9.根据权利要求7所述利用膜电极厚度检测装置的检测方法，其特征在于，所述X-Y两个方向上取点之间间隔距离为0.2mm～50mm。
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