[发明专利]一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和光刻胶组合物有效
| 申请号： | 202111556168.7 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114031736B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 季生象;刘亚栋;李小欧;农美凤 | 申请（专利权）人： | 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 |
| 主分类号： | C08G8/32 | 分类号： | C08G8/32;G03F7/004 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 宫爱鹏 |
| 地址： | 510530 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于光刻胶微电子化学技术领域，公开了一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和光刻胶组合物，所述改性酚醛树脂，包含式I所示聚合物结构，其中n和m为摩尔占比，0.09≤n≤0.91，0.09≤m≤0.91，n+m＝1；所述R |
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| 搜索关键词： | 一种 光刻 改性 酚醛树脂 及其 制备 方法 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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