[发明专利]一种气体光隔离装置及其方法在审
申请号: | 202111555698.X | 申请日: | 2021-12-17 |
公开(公告)号: | CN114279496A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 张冉冉;潘其坤;郭劲;陈飞;于德洋;张阔;孙俊杰;张鲁薇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G01D11/00;G03F7/20;G05D27/02 |
代理公司: | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人: | 郭婷 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种气体光隔离装置,包括用于为目标气体提供工作空间的吸收池、设置在吸收池两侧的用于通光的窗口镜、与吸收池连通的循环气路管道、与循环气路管道连通用于为目标气体提供循环动力的风机、与循环气路管道连通用于对目标气体进行温度控制的换热组件、与循环气路管道连通的用于对循环气路管道进行抽真空的抽气口、与循环气路管道连通用于提供目标气体的充气口、用于监测循环气路管道内气体状态和换热组件数据的监测组件、与监测组件电连接用于进行电气控制的控制组件,整个装置具有热稳定性好、损伤阈值高、长时间工作性能好、更适用于高功率激光系统的优点。本发明还提供一种气体光隔离方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 隔离 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
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