[发明专利]一种溅射率的测量方法在审
| 申请号： | 202111541003.2 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114324298A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 杨丽卉;陈然;刘玉龙;张月;胡赞 | 申请（专利权）人： | 东风汽车集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/67 | 分类号： | G01N21/67 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 俞鸿 |
| 地址： | 430056 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种溅射率的测量方法，将测试样品置于辉光放电发射光谱仪的激发窗口上，开始测试，并记下激发时间t；激发停止后，取下该测试样品，并置于3D激光显微镜下用激光模式进行扫描；通过3D激光显微镜上的测量软件，测量溅射坑的体积v；通过计算公式q＝v*ρ/t计算出溅射率q，其中ρ为测试样品的密度。该测量方法使用3D激光显微镜测量溅射坑的体积，不需要选取底部测量基准面即可直接得到体积结果，测量过程简单，稳定性好，测量结果精度高；并且3D激光显微镜不需要与样品表面接触，不会对样品表面造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 测量方法 | ||
【主权项】：
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