[发明专利]一种绿色环保型钛金属抛光液在审
| 申请号： | 202111540483.0 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114106704A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 谢顺帆;赵群;何彦刚;杨露瑶;梅旭鲲;孟妮;张祥龙;李相辉 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C23F3/04;C23F11/14 |
| 代理公司： | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 | 代理人： | 付长杰 |
| 地址： | 300130 天津市红桥区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明为一种绿色环保型钛金属抛光液，该钛抛光液包括磨料、氧化剂、碱性氧化物、表面活性剂、络合剂和缓蚀剂，所述缓蚀剂为烟酸，所述表面活性剂为不含钠离子的有机表面活性剂。本发明配方中并未引入新的外来的钠离子，可以应用与半导体领域抛光中，减少了金属离子数。通过引入少量的烟酸就可以得到良好的钛表面，烟酸的浓度在0.05wt％的时候即可得到优良的表面质量，同时具有较好的去除速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绿色 环保 金属 抛光 | ||
【主权项】：
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