[发明专利]一种高基频石英晶体谐振器的加工方法在审
| 申请号： | 202111540339.7 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114389557A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 姚晓文;吴敬军;杜敏 | 申请（专利权）人： | 廊坊中电熊猫晶体科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 065001 河北省廊坊市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高基频石英晶体谐振器的加工方法，包括清洗、镀膜、上架、调频、压封步骤，其中调频步骤中采用横向场压电石英晶体谐振件结构，使用压电石英晶体自动调频设备，利用离子刻蚀对压电石英晶体片未镀电极主面的局部持续刻蚀，使石英晶体片振荡部分变薄，获得逆MESA型高基频压电石英晶体片效果，从而提高谐振件厚度切变振动模式的振动频率。优点：1）此全新型石英晶体谐振器制造方法，解决了石英晶体片无法用机械研磨方法研磨到80MHz频率以上的问题；2）此全新型石英晶体谐振器具有品质因数值高、频率稳定性好、晶体老化率低和产品可靠性高的特点；3）此全新型石英晶体谐振器制造方法，操作简单，频率精确，合格率高，生产成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基频 石英 晶体 谐振器 加工 方法 | ||
【主权项】：
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