[发明专利]一种CrAlVSiN涂层的制备方法有效
| 申请号： | 202111536148.3 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114351087B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 钟利;陈美艳;唐德礼;王新超;许泽金;刘旋;崔西蓉 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院;中核同创（成都）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 陈丽丽 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于表面工程技术领域，具体涉及一种CrAlVSiN涂层的制备方法，该CrAlVSiN涂层包括过渡层、中间层和功能层，过渡层沉积于基材表面，中间层沉积于过渡层上，功能层沉积于中间层上；过渡层为TiAlN，中间层为CrAlTiN；功能层为CrAlTiN。本发明通过引入射频、脉冲等辉光放电，或霍尔放电模式引入高能离子束进行活化处理，优化过程参数，实现了CrAlVSiN硬质涂层膜基结合力的提升，制备获得的CrAlVSiN涂层硬度高、耐磨性强并且抗高温氧化，在作为刀具、模具和轴承的表面功能涂层时能够表现出良好的切削寿命、抗粘附性和强化保护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cralvsin 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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