[发明专利]开放式温场在审

专利信息
申请号: 202111531912.8 申请日: 2019-08-21
公开(公告)号: CN114214721A 公开(公告)日: 2022-03-22
发明(设计)人: 王宇;官伟明;梁振兴 申请(专利权)人: 眉山博雅新材料股份有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/14;C30B29/22
代理公司: 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 代理人: 严芳芳
地址: 620010 四川省眉*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 本说明书实施例提供一种温场装置,该温场装置放置于晶体生长炉内,且位于晶体生长炉内的感应线圈中;温场装置包括底板、第一盖板、第一筒、第二筒以及填充体;底板设置于温场装置底部,覆盖于第一筒一开口端;其中,第一盖板设置于温场装置顶部,覆盖于第一筒另一开口端;第二筒设置于第一筒内部;填充体填充于第二筒内部和第二筒和第一筒之间的空隙中;位于第二筒内部的填充体至少用于支撑埚并包覆埚的至少一部分。
搜索关键词: 开放式
【主权项】:
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