[发明专利]一种凹非球面镜的改进补偿检测系统及其检测方法在审
| 申请号： | 202111526150.2 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114216657A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 胡明勇;崔金龙;毕亚超 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/02;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/255 |
| 代理公司： | 合肥云道尔知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34230 | 代理人： | 陈兰 |
| 地址： | 230000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种凹非球面镜的改进补偿检测系统，包括干涉仪、补偿镜一和补偿镜二，补偿镜一的前表面中心区域为前表面中心区，前表面中心区外的环形区域为前表面环形区，补偿镜一的后表面中心区域为后表面中心区，后表面中心区外的环形区域为后表面环形区，前表面中心区、后表面环形区均镀有增透膜，后表面中心区、前表面环形区均镀有反射膜；干涉仪发出的球面波经补偿镜一、补偿镜二折射到待检测非球面镜上，最后经反射后沿原路返回至干涉仪上。本发明还公开了一种凹非球面镜的改进补偿检测系统的检测方法。本发明的凹非球面镜的改进补偿检测系统及其检测方法，仅仅使用两块透镜即可实现预期的检测精度要求，调试难度低，操作简单，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面镜 改进 补偿 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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